База для осуществления научно-исследовательской деятельности
База научных исследований построена на методиках неаватоматизированных и автоматизированных исследований. Применение автоматизированных методик дает дополнительные возможности для творческого поиска и эффективного решения поставленных задач, кроме того, использование информационных технологий в учебном процессе позволяет мобильно получать любую информацию, включая нормативную и справочную. Следует отметить, что применение автоматизированного режима во время эксперимента обеспечивает исследования динамических процессов с многоканальными измерениями, запоминанием и последующей математической обработкой параметров изучаемых объектов с целью оптимизации конструирования и технологии производства элементов и узлов электроники. Так, например, в автоматизированном режиме на уникальных лабораторных стендах исследуются эффект Холла в полупроводниках, оптические свойства полупроводников и параметры приборов на их основе, вольт-фарадные, вольт-амперные характеристики различных полупроводниковых приборов. При разработке учебно-методического обеспечения комплекса особое внимание уделяется компьютерному моделированию, позволяющему решать такие задачи как наглядное восприятие изучаемых объектов посредством анимации, так и математические расчеты параметров различных физических и химических процессов, протекающих, например, при производстве материалов микроэлектроники и приборов на их основе. Особенно актуально моделирование процессов, наблюдающих только при наличии дорогостоящего, эксклюзивного оборудования. К таким процессам, например, относится зарождение и рост материалов, используемых при изготовлении микроэлектронных приборов. Исследователи имеют возможность визуально наблюдать процесс формирования микро-, наноматериалов для различных моделей роста и технологических режимов синтеза. Кроме того, детально изучать любую стадию технологического процесса.
![]() |
![]() |
Проектирование и конструирование элементов функциональной электроники в условиях рыночной экономики требуют использования определенной стратегии инженерного решения, предполагающего использование не только фундаментальной подготовки специалистов, но и учета тенденций, закономерностей развития микро-, наноэлектроники, включающих в себя такие понятия как «новое поколение», жизненный цикл», «конкурентоспособность», а также учета экологических ограничений, основных законов производства и сбыта (основы менеджмента) и использования методов принятия эффективных решений (теория исследования операций) на всех этапах жизненного цикла объектов новой техники.
Научные исследования проводятся в лабораториях кафедры:
- «Лаборатория оптической микроскопии».
- «Лаборатория микроэлектронных и информационных технологий, материаловедения и устройств функциональной электроники».
- «Лаборатория материалов и элементов электронной техники».
- «Лаборатория вакуумных технологий».
- «Лаборатория полупроводниковых приборов».
- «Лаборатория микроэлектроники».
Учебные лаборатории оснащены как современным технологическим оборудованием для получения материалов и приборов микро-, наноэлектроники, так и уникальным исследовательским, включающее:
- учебно-лабораторный комплекс «Твердотельная электроника»;
- учебно-лабораторный комплекс «Физическая электроника»;
- учебно-лабораторный комплекс «Микроэлектроника и твердотельная электроника»;
- учебно-лабораторный комплекс по материаловедению;
- учебно-исследовательский комплекс для исследования микросистем;
- рентгеновский флуоресцентный анализатор ФРА-20Р;
- атомно-силовой микроскоп с разрешением 10– 20 нм;
- туннельный микроскоп с разрешающей способностью 30 ангстрем;
- туннельный микроскоп «Умка» с разрешающей способностью 50 ангстрем:
- оптические микроскопы Метам ЛВ-31 и Метам РВ-21 с увеличением до 1000 раз.
- муфельные печи;
- центрифуга;
- ванна ультразвуковая;
- установка рентгеновского флуоресцентного анализа ФРА 20Р;
- Фурье спектрометры ближнего и среднего ИК-диапазонов;
- установки термического вакуумного напыления УВН-71П3;
- установка магнетронного распыления;
- полуавтомат скрайбирования «Алмаз»;
- лазерная установка «Квант»;
- компьютерный класс, состоящий из 30 ПЭВМ класса Pentium, снабженных необходимыми лицензионными программами для моделирования параметров структур и технологических процессов, соединенных локальной сетью, подключенной к корпоративной сети ПГУ с выходом в Internet;
- другое оборудование.
![]() |
![]() |
Учебно-лабораторные комплексы разработаны и изготовлены коллективом кафедры нано- и микроэлектроники. Каждый комплекс состоит их нескольких автоматизированных лабораторных стендов, число которых определяется функциональными возможностями комплексов. Так, например, учебно-лабораторный комплекс «Физическая электроника» состоит из:
- автоматизированного лабораторного стенда для исследования магнитных свойств твердых тел и их полевых зависимостей;
- автоматизированного лабораторного стенда для исследования проводниковых свойств твердых тел;
- автоматизированного лабораторного стенда для исследования диэлектрических свойств твердых тел и их температурных зависимостей;
- автоматизированного лабораторного стенда для исследования свойств твердых тел методом эффекта Холла;
- автоматизированной лабораторной установки для исследования оптических свойств материалов электронной техники и параметров оптоэлектронных приборов;
- автоматизированного лабораторного стенда для исследования свойств полупроводниковых структур методом вольт-фарадных характеристик.
Дата обновления: 01.12.2022 16:31